臺冠馬力機電詳解干式無油真空泵的原理和類別
目前在(zai)工(gong)業(ye)(ye)(ye)制造信息(xi)化、自動化、智能化的(de)升級浪潮(chao)中(zhong)(zhong)，作為(wei)“工(gong)業(ye)(ye)(ye)心臟”的(de)泵(beng)(beng)業(ye)(ye)(ye)與發(fa)展環保(bao)節能，提升制造產業(ye)(ye)(ye)更加(jia)緊密相聯，無(wu)油干式機械真(zhen)空泵(beng)(beng)（又簡稱干式機械真(zhen)空泵(beng)(beng)）特點是(shi)對被(bei)抽(chou)空間沒有(you)油蒸(zheng)汽污染(ran)，不(bu)噴油，沒有(you)油蒸(zheng)汽從泵(beng)(beng)口(kou)排出，屬于環保(bao)類產品，被(bei)稱為(wei)二十(shi)一世紀“綠色真(zhen)空泵(beng)(beng)”。干式是(shi)指泵(beng)(beng)能從大氣壓力下開始(shi)抽(chou)氣，又能將被(bei)抽(chou)氣體直接(jie)排到大氣中(zhong)(zhong)去，泵(beng)(beng)腔(qiang)內無(wu)油或其他工(gong)作介質，而(er)且泵(beng)(beng)的(de)極限壓力與油封(feng)式真(zhen)空泵(beng)(beng)同等量級或者接(jie)近(jin)的(de)機械真(zhen)空泵(beng)(beng)。下面臺冠真(zhen)空泵(beng)(beng)技術團隊工(gong)程師們(men)，給大家(jia)分(fen)享廠家(jia)詳(xiang)解干式無(wu)油真(zhen)空泵(beng)(beng)的(de)原理與類別.希(xi)望能夠給大家(jia)帶來幫(bang)助.
干(gan)式無油真(zhen)空(kong)泵還有一個明顯的(de)能(neng)力就是(shi)不用水(shui)(shui)來(lai)做介質(zhi)，與傳(chuan)統的(de)真(zhen)空(kong)設備相(xiang)比(bi)，它(ta)可以(yi)有效的(de)節約水(shui)(shui)資源(yuan)，減少企(qi)業(ye)(ye)(ye)的(de)能(neng)源(yuan)消(xiao)耗，真(zhen)正使(shi)企(qi)業(ye)(ye)(ye)的(de)生產(chan)更加的(de)環保，并且(qie)可以(yi)提(ti)升企(qi)業(ye)(ye)(ye)生產(chan)發(fa)展的(de)能(neng)力。
無油(you)干式(shi)真空泵(beng)使工(gong)作容積中無油(you)，減少因油(you)而(er)花(hua)費(fei)的成(cheng)本。增強了泵(beng)的可靠性(xing)。干式(shi)泵(beng)不受到水蒸(zheng)氣或者塵粒的影響，因此(ci)它們更耐(nai)用(yong)，維護工(gong)作更少。
干式無油真(zhen)空(kong)泵工作(zuo)原理
干式無油真空泵它(ta)的(de)工作(zuo)(zuo)原理和一般(ban)容積泵相同，由定(ding)(ding)子(zi)(zi)、轉(zhuan)子(zi)(zi)、旋(xuan)片、缸體、電機等主(zhu)要零件組成(cheng)。帶有旋(xuan)片的(de)轉(zhuan)子(zi)(zi)，偏心地安裝在(zai)定(ding)(ding)缸內，當轉(zhuan)子(zi)(zi)高速旋(xuan)轉(zhuan)時，轉(zhuan)子(zi)(zi)槽內四(si)個徑向(xiang)滑動旋(xuan)片將泵腔分隔成(cheng)四(si)個工作(zuo)(zuo)室(shi)，由于離(li)心力作(zuo)(zuo)用，旋(xuan)片緊貼(tie)在(zai)缸壁，把定(ding)(ding)子(zi)(zi)進(jin)(jin)排(pai)出口分離(li)開來，周而(er)(er)復(fu)始運(yun)轉(zhuan)，進(jin)(jin)行(xing)變(bian)容，將吸入氣(qi)體，從(cong)排(pai)氣(qi)口排(pai)出，從(cong)而(er)(er)達(da)到抽氣(qi)目的(de)。
1） 無(wu)油往復(fu)真空泵工作原理
靠活塞往復運動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業等。
2）無(wu)油渦旋真空泵工作原理
渦(wo)旋(xuan)(xuan)無(wu)油真(zhen)空泵的(de)(de)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)就是一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)一(yi)端(duan)與一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)平面(mian)相接的(de)(de)一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或幾個(ge)(ge)(ge)(ge)漸開線螺(luo)旋(xuan)(xuan)形(xing)(xing)成一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)渦(wo)旋(xuan)(xuan)型盤(pan)(pan)狀結構(gou)。一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)靜(jing)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)與一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)動(dong)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)組成的(de)(de)一(yi)對渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)付構(gou)成了渦(wo)旋(xuan)(xuan)無(wu)油真(zhen)空的(de)(de)基本抽氣(qi)(qi)機構(gou)。例如在雙級渦(wo)旋(xuan)(xuan)無(wu)油真(zhen)空泵中，有兩個(ge)(ge)(ge)(ge)方(fang)向對應的(de)(de)固(gu)定渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)，一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)位于兩個(ge)(ge)(ge)(ge)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)之(zhi)間(jian)的(de)(de)轉動(dong)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)。動(dong)、靜(jing)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)相對運動(dong)形(xing)(xing)成容積不斷變化的(de)(de)新月(yue)形(xing)(xing)真(zhen)空腔使氣(qi)(qi)從抽氣(qi)(qi)口(kou)吸(xi)入、排氣(qi)(qi)口(kou)排出、完成排氣(qi)(qi)循環(huan)。
3） 爪式(shi)無油真(zhen)空泵工作(zuo)原理
爪式真空泵(beng)(beng)由(you)多級(ji)(ji)轉子(zi)(zi)構成，其中每級(ji)(ji)都有(you)2個轉子(zi)(zi)構成，兩個轉子(zi)(zi)反方向(xiang)旋轉，吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)口(kou)與泵(beng)(beng)腔接通，泵(beng)(beng)腔容積變(bian)大而(er)吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)，當(dang)轉子(zi)(zi)關(guan)閉(bi)(bi)吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)口(kou)時吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)結束，以后(hou)泵(beng)(beng)腔變(bian)小而(er)壓(ya)縮氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)，當(dang)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)口(kou)打(da)開(kai)后(hou)泵(beng)(beng)腔排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)，排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)口(kou)關(guan)閉(bi)(bi)時則排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)完畢(bi)，如此循環工作。
4） 干式無油螺桿真空泵工作原理
干式(shi)(shi)(shi)螺(luo)桿真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)，是(shi)利(li)用一對螺(luo)桿，在泵(beng)(beng)殼中(zhong)(zhong)作同步高速反(fan)向旋轉而產(chan)生的吸氣(qi)(qi)和排氣(qi)(qi)作用的抽氣(qi)(qi)設備，兩螺(luo)桿經精(jing)細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵(beng)(beng)殼中(zhong)(zhong)，螺(luo)桿與螺(luo)桿之間(jian)都有一定(ding)的間(jian)隙，因此(ci)泵(beng)(beng)工作時(shi)，相互之間(jian)無(wu)磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無(wu)需潤滑油，因此(ci)，干式(shi)(shi)(shi)螺(luo)桿泵(beng)(beng)能(neng)抽除含有大量(liang)(liang)水(shui)蒸汽及少(shao)量(liang)(liang)粉塵的氣(qi)(qi)體(ti)場合，極限真(zhen)空(kong)更高，消(xiao)耗功率更低，具有節能(neng)，免(mian)維修(xiu)等(deng)優(you)點。它是(shi)油封式(shi)(shi)(shi)/水(shui)環式(shi)(shi)(shi)/噴射(she)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的更新換代產(chan)品(pin)。
干式無(wu)油(you)真(zhen)空(kong)泵(beng)分(fen)為(wei)下列(lie)幾種類型：
1）外部壓縮型螺桿式(shi)
在(zai)外部壓(ya)縮(suo)型螺桿式(shi)設計中(zhong)(zhong)，使(shi)用一對等距螺桿。這(zhe)(zhe)使(shi)得內(nei)(nei)部壓(ya)縮(suo)減到最(zui)(zui)小，同(tong)(tong)時(shi)使(shi)得氣體通路最(zui)(zui)短(duan)也最(zui)(zui)簡單。這(zhe)(zhe)樣(yang)，氣體在(zai)泵體內(nei)(nei)停留的(de)(de)時(shi)間也最(zui)(zui)短(duan)。雖然這(zhe)(zhe)種設計由于減少了內(nei)(nei)部的(de)(de)壓(ya)縮(suo)比而(er)使(shi)得其耗電量(liang)相對較高(gao)，但(dan)在(zai)很多復雜的(de)(de)半導(dao)體工(gong)藝中(zhong)(zhong)表現出極高(gao)的(de)(de)穩定性。這(zhe)(zhe)種單級設計使(shi)得其對氮氣用量(liang)的(de)(de)要(yao)求也非常小而(er)且簡單，這(zhe)(zhe)樣(yang)就使(shi)得其在(zai)不(bu)同(tong)(tong)工(gong)藝中(zhong)(zhong)有很好的(de)(de)互換性。在(zai)很多清潔的(de)(de)工(gong)藝中(zhong)(zhong)甚至可以不(bu)用氮氣。
2）內部壓縮型螺桿式
除了使(shi)(shi)用一(yi)對非(fei)等距螺桿(gan)以外，內(nei)部(bu)壓縮(suo)型螺桿(gan)式設計(ji)和外部(bu)壓縮(suo)型螺桿(gan)式設計(ji)的(de)基本原(yuan)理非(fei)常相似。螺桿(gan)間容積的(de)不斷減小使(shi)(shi)得(de)其內(nei)部(bu)產生壓縮(suo)。這種(zhong)設計(ji)由于產生內(nei)部(bu)壓縮(suo)而使(shi)(shi)得(de)其耗(hao)電量降低到同多(duo)級泵相當(dang)的(de)水平。但在很(hen)多(duo)工藝中，這種(zhong)內(nei)部(bu)壓縮(suo)同多(duo)級泵一(yi)樣，極易造成氣體在泵體內(nei)的(de)物(wu)理化(hua)學變化(hua)而產生固(gu)化(hua)或液化(hua)。
3）組(zu)合(he)式(馬力+爪)
組合式(馬力(li)+爪)設(she)(she)(she)計(ji)用羅茨來(lai)(lai)提(ti)高在(zai)較低(di)壓力(li)下的(de)抽氣(qi)(qi)效(xiao)率(lv)，用爪來(lai)(lai)提(ti)高在(zai)較高壓力(li)下的(de)抽氣(qi)(qi)效(xiao)率(lv)。它的(de)基本原理和(he)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)通路同(tong)前(qian)面介紹的(de)圓裂(lie)片式設(she)(she)(she)計(ji)完全相同(tong)。也有些(xie)廠家將其最后(hou)一級改(gai)為星型設(she)(she)(she)計(ji)，這(zhe)樣可(ke)以(yi)在(zai)旋(xuan)轉一圈中將氣(qi)(qi)體(ti)(ti)分為五份，就(jiu)像三圓裂(lie)片式設(she)(she)(she)計(ji)可(ke)以(yi)將其分為三份。同(tong)樣，在(zai)很(hen)多工藝(yi)中，組合式設(she)(she)(she)計(ji)的(de)每(mei)一級都需要較大(da)流量的(de)氮氣(qi)(qi)來(lai)(lai)起到稀釋和(he)隔離作用。
4）雙圓裂片(pian)式
雙圓裂片式多級設計使得氣(qi)體(ti)通路(lu)相當復雜，并且(qie)每一級都需要較大流量的氮氣(qi)起到稀(xi)釋和隔(ge)離作用。同時，為了達到好(hao)的真空度，對(dui)各(ge)級的間(jian)隙(xi)有非(fei)常嚴格的要求。當然，這種設計由于增(zeng)加了內部(bu)的壓縮比而(er)使得其耗電(dian)量相對(dui)較低。
5）三葉圓裂片式
三葉圓(yuan)裂片式(shi)(shi)設計(ji)(ji)和雙(shuang)圓(yuan)裂片式(shi)(shi)設計(ji)(ji)的原(yuan)理完全相(xiang)同(tong)，只(zhi)是在旋轉一(yi)(yi)圈中(zhong)將氣體分為三份(fen)而不(bu)是像雙(shuang)圓(yuan)裂片式(shi)(shi)分為兩(liang)份(fen)。這(zhe)兩(liang)種設計(ji)(ji)有(you)著相(xiang)同(tong)的優(you)點和缺點。為了進一(yi)(yi)步降(jiang)低耗電(dian)量，在傳動(dong)(dong)部分有(you)的廠家選用兩(liang)個直流馬達，但這(zhe)也(ye)會導(dao)致(zhi)扭矩減小，重新(xin)啟動(dong)(dong)的能力—下降(jiang)。同(tong)雙(shuang)圓(yuan)裂片式(shi)(shi)設計(ji)(ji)一(yi)(yi)樣，三葉圓(yuan)裂片式(shi)(shi)設計(ji)(ji)的每一(yi)(yi)級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋(shi)和隔離作用。
以上(shang)就是為(wei)您提供臺冠(guan)馬力機電(dian)廠家(jia)詳(xiang)解(jie)干式(shi)無油真空泵的(de)原理與(yu)類(lei)別(bie)，如您有需要了解(jie)更多的(de)真空技術,敬請關注我們下(xia)期精(jing)彩分享。
干(gan)式無油真(zhen)空(kong)泵還有一個明顯的(de)能(neng)力就是(shi)不用水(shui)(shui)來(lai)做介質(zhi)，與傳(chuan)統的(de)真(zhen)空(kong)設備相(xiang)比(bi)，它(ta)可以(yi)有效的(de)節約水(shui)(shui)資源(yuan)，減少企(qi)業(ye)(ye)(ye)的(de)能(neng)源(yuan)消(xiao)耗，真(zhen)正使(shi)企(qi)業(ye)(ye)(ye)的(de)生產(chan)更加的(de)環保，并且(qie)可以(yi)提(ti)升企(qi)業(ye)(ye)(ye)生產(chan)發(fa)展的(de)能(neng)力。
無油(you)干式(shi)真空泵(beng)使工(gong)作容積中無油(you)，減少因油(you)而(er)花(hua)費(fei)的成(cheng)本。增強了泵(beng)的可靠性(xing)。干式(shi)泵(beng)不受到水蒸(zheng)氣或者塵粒的影響，因此(ci)它們更耐(nai)用(yong)，維護工(gong)作更少。
干式無油真(zhen)空(kong)泵工作(zuo)原理
干式無油真空泵它(ta)的(de)工作(zuo)(zuo)原理和一般(ban)容積泵相同，由定(ding)(ding)子(zi)(zi)、轉(zhuan)子(zi)(zi)、旋(xuan)片、缸體、電機等主(zhu)要零件組成(cheng)。帶有旋(xuan)片的(de)轉(zhuan)子(zi)(zi)，偏心地安裝在(zai)定(ding)(ding)缸內，當轉(zhuan)子(zi)(zi)高速旋(xuan)轉(zhuan)時，轉(zhuan)子(zi)(zi)槽內四(si)個徑向(xiang)滑動旋(xuan)片將泵腔分隔成(cheng)四(si)個工作(zuo)(zuo)室(shi)，由于離(li)心力作(zuo)(zuo)用，旋(xuan)片緊貼(tie)在(zai)缸壁，把定(ding)(ding)子(zi)(zi)進(jin)(jin)排(pai)出口分離(li)開來，周而(er)(er)復(fu)始運(yun)轉(zhuan)，進(jin)(jin)行(xing)變(bian)容，將吸入氣(qi)體，從(cong)排(pai)氣(qi)口排(pai)出，從(cong)而(er)(er)達(da)到抽氣(qi)目的(de)。
1） 無(wu)油往復(fu)真空泵工作原理
靠活塞往復運動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業等。
2）無(wu)油渦旋真空泵工作原理
渦(wo)旋(xuan)(xuan)無(wu)油真(zhen)空泵的(de)(de)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)就是一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)一(yi)端(duan)與一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)平面(mian)相接的(de)(de)一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或幾個(ge)(ge)(ge)(ge)漸開線螺(luo)旋(xuan)(xuan)形(xing)(xing)成一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)渦(wo)旋(xuan)(xuan)型盤(pan)(pan)狀結構(gou)。一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)靜(jing)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)與一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)動(dong)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)組成的(de)(de)一(yi)對渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)付構(gou)成了渦(wo)旋(xuan)(xuan)無(wu)油真(zhen)空的(de)(de)基本抽氣(qi)(qi)機構(gou)。例如在雙級渦(wo)旋(xuan)(xuan)無(wu)油真(zhen)空泵中，有兩個(ge)(ge)(ge)(ge)方(fang)向對應的(de)(de)固(gu)定渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)，一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)位于兩個(ge)(ge)(ge)(ge)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)之(zhi)間(jian)的(de)(de)轉動(dong)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)。動(dong)、靜(jing)渦(wo)旋(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)相對運動(dong)形(xing)(xing)成容積不斷變化的(de)(de)新月(yue)形(xing)(xing)真(zhen)空腔使氣(qi)(qi)從抽氣(qi)(qi)口(kou)吸(xi)入、排氣(qi)(qi)口(kou)排出、完成排氣(qi)(qi)循環(huan)。
3） 爪式(shi)無油真(zhen)空泵工作(zuo)原理
爪式真空泵(beng)(beng)由(you)多級(ji)(ji)轉子(zi)(zi)構成，其中每級(ji)(ji)都有(you)2個轉子(zi)(zi)構成，兩個轉子(zi)(zi)反方向(xiang)旋轉，吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)口(kou)與泵(beng)(beng)腔接通，泵(beng)(beng)腔容積變(bian)大而(er)吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)，當(dang)轉子(zi)(zi)關(guan)閉(bi)(bi)吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)口(kou)時吸(xi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)結束，以后(hou)泵(beng)(beng)腔變(bian)小而(er)壓(ya)縮氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)，當(dang)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)口(kou)打(da)開(kai)后(hou)泵(beng)(beng)腔排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)，排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)口(kou)關(guan)閉(bi)(bi)時則排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)完畢(bi)，如此循環工作。
4） 干式無油螺桿真空泵工作原理
干式(shi)(shi)(shi)螺(luo)桿真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)，是(shi)利(li)用一對螺(luo)桿，在泵(beng)(beng)殼中(zhong)(zhong)作同步高速反(fan)向旋轉而產(chan)生的吸氣(qi)(qi)和排氣(qi)(qi)作用的抽氣(qi)(qi)設備，兩螺(luo)桿經精(jing)細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵(beng)(beng)殼中(zhong)(zhong)，螺(luo)桿與螺(luo)桿之間(jian)都有一定(ding)的間(jian)隙，因此(ci)泵(beng)(beng)工作時(shi)，相互之間(jian)無(wu)磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無(wu)需潤滑油，因此(ci)，干式(shi)(shi)(shi)螺(luo)桿泵(beng)(beng)能(neng)抽除含有大量(liang)(liang)水(shui)蒸汽及少(shao)量(liang)(liang)粉塵的氣(qi)(qi)體(ti)場合，極限真(zhen)空(kong)更高，消(xiao)耗功率更低，具有節能(neng)，免(mian)維修(xiu)等(deng)優(you)點。它是(shi)油封式(shi)(shi)(shi)/水(shui)環式(shi)(shi)(shi)/噴射(she)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的更新換代產(chan)品(pin)。
干式無(wu)油(you)真(zhen)空(kong)泵(beng)分(fen)為(wei)下列(lie)幾種類型：
1）外部壓縮型螺桿式(shi)
在(zai)外部壓(ya)縮(suo)型螺桿式(shi)設計中(zhong)(zhong)，使(shi)用一對等距螺桿。這(zhe)(zhe)使(shi)得內(nei)(nei)部壓(ya)縮(suo)減到最(zui)(zui)小，同(tong)(tong)時(shi)使(shi)得氣體通路最(zui)(zui)短(duan)也最(zui)(zui)簡單。這(zhe)(zhe)樣(yang)，氣體在(zai)泵體內(nei)(nei)停留的(de)(de)時(shi)間也最(zui)(zui)短(duan)。雖然這(zhe)(zhe)種設計由于減少了內(nei)(nei)部的(de)(de)壓(ya)縮(suo)比而(er)使(shi)得其耗電量(liang)相對較高(gao)，但(dan)在(zai)很多復雜的(de)(de)半導(dao)體工(gong)藝中(zhong)(zhong)表現出極高(gao)的(de)(de)穩定性。這(zhe)(zhe)種單級設計使(shi)得其對氮氣用量(liang)的(de)(de)要(yao)求也非常小而(er)且簡單，這(zhe)(zhe)樣(yang)就使(shi)得其在(zai)不(bu)同(tong)(tong)工(gong)藝中(zhong)(zhong)有很好的(de)(de)互換性。在(zai)很多清潔的(de)(de)工(gong)藝中(zhong)(zhong)甚至可以不(bu)用氮氣。
2）內部壓縮型螺桿式
除了使(shi)(shi)用一(yi)對非(fei)等距螺桿(gan)以外，內(nei)部(bu)壓縮(suo)型螺桿(gan)式設計(ji)和外部(bu)壓縮(suo)型螺桿(gan)式設計(ji)的(de)基本原(yuan)理非(fei)常相似。螺桿(gan)間容積的(de)不斷減小使(shi)(shi)得(de)其內(nei)部(bu)產生壓縮(suo)。這種(zhong)設計(ji)由于產生內(nei)部(bu)壓縮(suo)而使(shi)(shi)得(de)其耗(hao)電量降低到同多(duo)級泵相當(dang)的(de)水平。但在很(hen)多(duo)工藝中，這種(zhong)內(nei)部(bu)壓縮(suo)同多(duo)級泵一(yi)樣，極易造成氣體在泵體內(nei)的(de)物(wu)理化(hua)學變化(hua)而產生固(gu)化(hua)或液化(hua)。
3）組(zu)合(he)式(馬力+爪)
組合式(馬力(li)+爪)設(she)(she)(she)計(ji)用羅茨來(lai)(lai)提(ti)高在(zai)較低(di)壓力(li)下的(de)抽氣(qi)(qi)效(xiao)率(lv)，用爪來(lai)(lai)提(ti)高在(zai)較高壓力(li)下的(de)抽氣(qi)(qi)效(xiao)率(lv)。它的(de)基本原理和(he)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)通路同(tong)前(qian)面介紹的(de)圓裂(lie)片式設(she)(she)(she)計(ji)完全相同(tong)。也有些(xie)廠家將其最后(hou)一級改(gai)為星型設(she)(she)(she)計(ji)，這(zhe)樣可(ke)以(yi)在(zai)旋(xuan)轉一圈中將氣(qi)(qi)體(ti)(ti)分為五份，就(jiu)像三圓裂(lie)片式設(she)(she)(she)計(ji)可(ke)以(yi)將其分為三份。同(tong)樣，在(zai)很(hen)多工藝(yi)中，組合式設(she)(she)(she)計(ji)的(de)每(mei)一級都需要較大(da)流量的(de)氮氣(qi)(qi)來(lai)(lai)起到稀釋和(he)隔離作用。
4）雙圓裂片(pian)式
雙圓裂片式多級設計使得氣(qi)體(ti)通路(lu)相當復雜，并且(qie)每一級都需要較大流量的氮氣(qi)起到稀(xi)釋和隔(ge)離作用。同時，為了達到好(hao)的真空度，對(dui)各(ge)級的間(jian)隙(xi)有非(fei)常嚴格的要求。當然，這種設計由于增(zeng)加了內部(bu)的壓縮比而(er)使得其耗電(dian)量相對(dui)較低。
5）三葉圓裂片式
三葉圓(yuan)裂片式(shi)(shi)設計(ji)(ji)和雙(shuang)圓(yuan)裂片式(shi)(shi)設計(ji)(ji)的原(yuan)理完全相(xiang)同(tong)，只(zhi)是在旋轉一(yi)(yi)圈中(zhong)將氣體分為三份(fen)而不(bu)是像雙(shuang)圓(yuan)裂片式(shi)(shi)分為兩(liang)份(fen)。這(zhe)兩(liang)種設計(ji)(ji)有(you)著相(xiang)同(tong)的優(you)點和缺點。為了進一(yi)(yi)步降(jiang)低耗電(dian)量，在傳動(dong)(dong)部分有(you)的廠家選用兩(liang)個直流馬達，但這(zhe)也(ye)會導(dao)致(zhi)扭矩減小，重新(xin)啟動(dong)(dong)的能力—下降(jiang)。同(tong)雙(shuang)圓(yuan)裂片式(shi)(shi)設計(ji)(ji)一(yi)(yi)樣，三葉圓(yuan)裂片式(shi)(shi)設計(ji)(ji)的每一(yi)(yi)級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋(shi)和隔離作用。
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